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極薄ゲート酸化膜poly-Si TFTの作製・評価
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/441
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/4419c1a763b-9429-49ee-a741-86e6b82c48b1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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vol1-29-16.pdf (500.3 kB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-04-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 極薄ゲート酸化膜poly-Si TFTの作製・評価 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Fabrication and evaluation of ultra-thin gate oxide poly-Si TFTs | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00159741 | |||||
| 論文名よみ | ||||||
| タイトル | ゴクハク ゲート サンカマク poly-Si TFT ノ サクセイ ヒョウカ | |||||
| 著者 |
磯邉, 康孝
× 磯邉, 康孝× 佐藤, 利文× 丹呉, 浩侑× Isobe, Yasutaka× Sato, Toshifumi× Tango, Hiroyuki |
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| 著者所属(日) | ||||||
| 新日本無線株式会社 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部メディア画像学科 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部システム電子情報学科 | ||||||
| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 書誌情報 |
東京工芸大学工学部紀要 en : The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University 巻 29, 号 1, p. 132-139, 発行日 2006 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 16 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00004551592 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03876055 | |||||
