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Electrostatic Analyzerによる反応性プラズマの診断
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/162
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/162bbc7c2fe-8fb4-4bb9-83b6-5fc33062b6f0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00001511962.pdf (577.1 kB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-04-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Electrostatic Analyzerによる反応性プラズマの診断 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Diagnosis of Reactive Plasma by Means of Electrostatic Analyzer | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00159741 | |||||
| 論文名よみ | ||||||
| タイトル | Electrostatic Analyzer ニ ヨル ハンノウセイ プラズマ ノ シンダン | |||||
| 著者 |
西川, 泰央
× 西川, 泰央× 中野, 幹夫× 小林, 良嗣× 加藤, 静一× 青木, 彪× NISHIKAWA, Yasuo× NAKANO, Mikio× KOBAYASHI, Yoshitugu× KATO, Seiichi× AOKI, Takeshi |
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| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部電子工学科 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部電子工学科 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 株式会社東芝 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東北リコー株式会社 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部電子工学科 | ||||||
| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 抄録(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | This paper presents an electrostatic analyzer and its systems to measure densities of both ions and electrons impinging upon growing film surfaces and their energy distributions in a reactive plasma. The electrostatic analyzer consists of four electrodes spaced closely in comparison with electron and ion mean free paths, and is placed on the substrate holder of our ECR plasma reactor. A personal computor is adopted for automatically measuring electron-energy distribution, reducing measurement time from 1 hour to 5 minutes. Ion-energy distribution is drifting Maxwellian, and both ion peak energy and ion temperature are found to be higher for the smaller total flow-rate of germane diluted by hydrogen. Electron-energy distribution can be described by a two-temperature model and both temperatures are higher for the lower total flow-rate. | |||||
| 書誌情報 |
東京工芸大学工学部紀要 en : The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University 巻 12, 号 1, p. 95-102, 発行日 1989 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 13 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00001511962 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03876055 | |||||
