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  1. 紀要
  2. 東京工芸大学工学部紀要
  3. Vol.12
  4. No.1

Electrostatic Analyzerによる反応性プラズマの診断

https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/162
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/162
bbc7c2fe-8fb4-4bb9-83b6-5fc33062b6f0
名前 / ファイル ライセンス アクション
KJ00001511962.pdf KJ00001511962.pdf (577.1 kB)
Item type [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2017-04-21
タイトル
タイトル Electrostatic Analyzerによる反応性プラズマの診断
タイトル
タイトル Diagnosis of Reactive Plasma by Means of Electrostatic Analyzer
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
雑誌書誌ID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN00159741
論文名よみ
タイトル Electrostatic Analyzer ニ ヨル ハンノウセイ プラズマ ノ シンダン
著者 西川, 泰央

× 西川, 泰央

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西川, 泰央

ja-Kana ニシカワ, ヤスオ

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中野, 幹夫

× 中野, 幹夫

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中野, 幹夫

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小林, 良嗣

× 小林, 良嗣

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小林, 良嗣

ja-Kana コバヤシ, ヨシツグ

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加藤, 静一

× 加藤, 静一

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加藤, 静一

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青木, 彪

× 青木, 彪

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青木, 彪

ja-Kana アオキ, タケシ

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× NISHIKAWA, Yasuo

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× NAKANO, Mikio

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KOBAYASHI, Yoshitugu

× KOBAYASHI, Yoshitugu

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en KOBAYASHI, Yoshitugu

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× KATO, Seiichi

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AOKI, Takeshi

× AOKI, Takeshi

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en AOKI, Takeshi

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著者所属(日)
東京工芸大学工学部電子工学科
著者所属(日)
東京工芸大学工学部電子工学科
著者所属(日)
株式会社東芝
著者所属(日)
東北リコー株式会社
著者所属(日)
東京工芸大学工学部電子工学科
記事種別(日)
内容記述タイプ Other
内容記述 論文
記事種別(英)
内容記述タイプ Other
内容記述 Article
抄録(英)
内容記述タイプ Other
内容記述 This paper presents an electrostatic analyzer and its systems to measure densities of both ions and electrons impinging upon growing film surfaces and their energy distributions in a reactive plasma. The electrostatic analyzer consists of four electrodes spaced closely in comparison with electron and ion mean free paths, and is placed on the substrate holder of our ECR plasma reactor. A personal computor is adopted for automatically measuring electron-energy distribution, reducing measurement time from 1 hour to 5 minutes. Ion-energy distribution is drifting Maxwellian, and both ion peak energy and ion temperature are found to be higher for the smaller total flow-rate of germane diluted by hydrogen. Electron-energy distribution can be described by a two-temperature model and both temperatures are higher for the lower total flow-rate.
書誌情報 東京工芸大学工学部紀要
en : The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University

巻 12, 号 1, p. 95-102, 発行日 1989
表示順
内容記述タイプ Other
内容記述 13
アクセション番号
内容記述タイプ Other
内容記述 KJ00001511962
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 03876055
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Ver.1 2023-06-20 14:23:46.082204
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