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アイテム
自動分光偏光解析装置の試作
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/120
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/12051669f64-94a9-4bff-aa12-2c4f1a5d44e5
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00002353291.pdf (632.5 kB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-04-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 自動分光偏光解析装置の試作 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | An automatic spectroscopic ellipsometer of a rotating analyzer type | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00159741 | |||||
| 論文名よみ | ||||||
| タイトル | ジドウブンコウ ヘンコウ カイセキソウチ ノ シサク | |||||
| 著者 |
川畑, 州一
× 川畑, 州一× 宮田, 浩幸× KAWABATA, Shuichi× MIYATA, Hiroyuki |
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| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部物性工学研究室 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部画像工学科 | ||||||
| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 抄録(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | An automatic spectroscopic ellipsometer of a rotating analyzer type is described, which is able to determine the optical constants of the samples in the spectral range of 370 nm to 800 nm. The elliPsometer is fully controlled by the micro computer and the spectroscopic measurements are accomplished automatically following the program. As the preliminary experiments,we carried out the measurements of the optical constants of the thick evaporated Au films in the spectral range of 450 nm to 750 nm. The experimental results almost agreed with those of Schulz and Bashara et al in the literature, except for the samples that were seriously affected by the residual gas in the evaporation. We also carried out the measurements of SiO_2 and MgF_2 films on Si wafer at the two wavelengths of 546 nm and 633 nm. The thickness of those films could be determined consistently in each wavelength. | |||||
| 書誌情報 |
東京工芸大学工学部紀要 en : The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University 巻 9, 号 1, p. 11-19, 発行日 1986 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 6 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00002353291 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03876055 | |||||
