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対向ターゲットスパッタプラズマ中のAr IとTi Iのレーザ分光計測
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/449
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/449362dbe0f-6ded-46b2-90e9-df7f917c8811
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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vol1-30-07.pdf (791.1 kB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-04-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 対向ターゲットスパッタプラズマ中のAr IとTi Iのレーザ分光計測 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Laser spectroscopy of Ar I and Ti I in plasma produced by a facing target sputtering system | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00159741 | |||||
| 論文名よみ | ||||||
| タイトル | タイコウ ターゲットスパッタプラズマ チュウ ノ Ar I ト Ti I ノ レーザ ブンコウ ケイソク | |||||
| 著者 |
安田, 洋司
× 安田, 洋司× 西宮, 信夫× 星, 陽一× 鈴木, 正夫× Yasuda, Youji× Nishimiya, Nobuo× Hoshi, Yoichi× Suzuki, Masao |
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| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部システム電子情報学科 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部システム電子情報学科 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部システム電子情報学科 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部システム電子情報学科非常勤 | ||||||
| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 書誌情報 |
東京工芸大学工学部紀要 en : The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University 巻 30, 号 1, p. 51-58, 発行日 2007 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 7 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00004878596 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03876055 | |||||
