WEKO3
アイテム
対向ターゲット式スパッタ法を用いたTi原子のレーザプラズマ分光計測
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/2016
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/20167df77763-ae04-459b-91d3-d23ea63a7404
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
Dcourse_55_abstract(PDF) (185.9 kB)
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Dcourse_55_審査要旨(PDF) (217.0 kB)
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Dcourse_55_fulltext(PDF) (4.0 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-04-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 対向ターゲット式スパッタ法を用いたTi原子のレーザプラズマ分光計測 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 対向ターゲット式 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | スパッタ法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Ti原子 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | レーザプラズマ | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
小林, 慎治
× 小林, 慎治× Kobayashi, Shinji |
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| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 32708 | |||||
| 学位授与機関名 | 東京工芸大学 | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2017年度 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2018-03-08 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第55号 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
