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アイテム
イオンビームスパッタ法によるFe-Co系薄膜の作製とその磁気特性
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/107
https://kougei.repo.nii.ac.jp/records/1077ed6dd85-3362-491b-9ed8-4198cdd47daf
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00001511908.pdf (419.7 kB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-04-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | イオンビームスパッタ法によるFe-Co系薄膜の作製とその磁気特性 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Deposition of Fe-Co thin films by ion beam sputtering and their magnetic properties | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00159741 | |||||
| 論文名よみ | ||||||
| タイトル | イオン ビーム スパッタホウ ニ ヨル Fe-Coケイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ ジキ トクセイ | |||||
| 著者 |
星, 陽一
× 星, 陽一× 直江, 正彦× HOSHI, Youichi× NAOE, Masahiko |
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| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工芸大学工学部電子工学科 | ||||||
| 著者所属(日) | ||||||
| 東京工業大学工学部 | ||||||
| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 抄録(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Iron-cobalt alloy thin films (O～54at. % Co-Fe) were deposited by using an ion beam sputtering apparatus, and their magnetic properties were investigated in detail. All of the films have large saturation magnetization above 20 kG. The films deposited at substrate temperature Ts of about 75℃ have large perpendicular magnetic anisotropy field H_<k⊥> (>110 Oe) and high coercive force Hc (>50 Oe). While, the increase of Ts leads a significant decrease in both H_<k⊥> and Hc.The perpendicular magnetic anisotropy of the film deposited at Ts above 250℃ disappears completely, and the films with Co content of 50-54 at. % have the lowest Hc as low as 50e. The increase of Ts from 75℃ to 250℃ also causes the change in the internal stress of the films from compressive stress to tensile stress along with a growth of crystallites in the films. Anealing the films in a vacuum has nearly the same effect on the changes of the magnetic properties and internal stress of the films as the increase of Ts. These changes in magnetic properties with Ts or annealing temperature are considered to be mainly caused by the change of stress induced magnetic anisotropy energy, since the Fe-Co alloy film has a large positive magnetostriction constant. | |||||
| 書誌情報 |
東京工芸大学工学部紀要 en : The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University 巻 8, 号 1, p. 94-99, 発行日 1985 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 15 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00001511908 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03876055 | |||||
